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  • 产品名称:纳米机械手

  • 产品型号:Nanoprobing
  • 产品厂商:imina
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简单介绍:
纳米探测平台是一种独特的解决方案,它将mibot纳米机械手转变为强大的纳米探针,用于扫描电镜中半导体器件和先进材料的原位电特性表征。
详情介绍:

      纳米探测平台是一种独特的解决方案,它将mibot纳米机械手转变为强大的纳米探针,用于扫描电镜中半导体器件和先进材料的原位电特性表征。纳米机械手精心设计以尽量减少对测量信号的干扰,泄漏电流可低至100 fa/v。屏蔽电缆将每个探头从舞台连接到行业标准的引线连接器。这个平台允许您在几个毫米的工作空间上独立放置多达4个探针,分辨率高达纳米。*后但并非*不重要的是,舞台紧凑的设计使得这种解决方案甚至对那些显微镜有一个小真空室的人来说也是可行的。

直观的原位低电流电气测量。将探针尖端与半导体芯片接触,测量集成元件的电气特性并隔离缺陷。


Imina Technologies的Nanoprobing SEM解决方案是微电子器件电气特性和原位半导体故障分析的交钥匙工程。

*多可以提供多种配置的miBot™纳米过滤器,以适应客户的应用要求和设备。 miBot™是一款着名的易于使用且功能多样的压电驱动微型机器人,可让您将探头定位在毫米级样品上,分辨率低至纳米级。这些纳米探针的4个自由度使操作者能够在实验期间容易地调节探针的取向。

圆形平台可以安装在SEM样品定位台上,也可以通过SEM加载锁加载。包装提供了一套适配器,几乎可以对任何SEM进行改造,即使是那些带有小腔室的SEM。

专为低电流测量而设计,纳米结构的电气特性可通过屏蔽电缆与第三方电源表单元(SMU)和信号分析仪进行,具有出色的信噪比。

上等的原位前置放大器和扫描发生器与Nanoprobing解决方案兼容,可执行定量EBIC和低噪声EBAC / RCI分析。

虽然安装和拆卸舞台安装版本只需几分钟而且不需要长久性地修改显微镜的腔室,但是加载锁定兼容版本提供了*高的吞吐量来更换被测设备和探头尖端避免打开腔室的需要。

以机器人平台为中心的孔径适合各种类型的SEM短截线,让您可以像以前一样观察样品。

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