产品详情
  • 产品名称:AW™ 系列超声波扫描显微镜

  • 产品型号:Series
  • 产品厂商:sonoscan
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简单介绍:
AW™ 系列超声波扫描显微镜是专门为粘合晶圆及硅片设计的全自动 C-SAM®系统,容量大,产能高,灵敏度高。通常用来检 测SOI,MEMS等晶圆。
详情介绍:
 AW™ 系列产品超声波扫描仪光学显微镜是专业为黏合晶圆及硅片设计方案的自动式 C-SAM®系统软件,容积大,生产能力高,灵敏度高。一般用于检 测SOI,MEMS等晶圆。因为这种原材料对超声波基本上是全透明 的,Sonoscan利用自身专业研发的高频率摄像头开展剖析, 以获得*细致的图象。AW系列产品可以检测直经低于5μm 的裂缝和薄如200埃的层次。 AW™系列产品是优良的大空间、高货运量的自动化技术晶圆C-Sam®仪器设备,专业为晶圆和机器设备级运用的评定出示*大的灵敏度。 AW系列产品能够出示比市场竞争系统软件快二倍的5μm左右的灵敏度,及其非渗入式扫描机,以**因双蒸水入侵而造成的乱报。

 AW系列产品依据客户界定的接纳/回绝规范全自动解决、定期检查排列晶圆。该产品规划用以解决基本上一切方式生产制造的晶圆级商品(BSI控制器、SOI、MEMS、LED、片上集成ic和未打磨晶圆),包含应用立即熔合、阳极氧化、夹层玻璃熔块和环氧树脂胶键合的键合加工工艺。

 1.立即键合技术性-系统软件客户发觉,在范德华力原始键合后、淬火后和稀释液后的三个生产制造环节开展查验,能够明显提高效益。

 2.MEMS机器设备-在分离出来以前,能够查验腔密封性的品质。

 3.未打磨的生芯片-检验在进一步生产过程中造成“针眼”的大自然间隙。

 4.发光二极管-查验层的融合全自动一个磨具的基本上,并归类坏和异常的磨具。

 AW系列产品利用了Sonoscan特有的高频率声透镜,这类透镜是內部设计方案的,能够得到*详尽的图象。因为在这种运用中应用的原材料,如硅、绿宝石、夹层玻璃、砷化镓等,对超声波而言是十分全透明的,因而必须独特的透镜。能够检验到薄到200埃的晶圆中间的层次。

 AW300系列产品出示自动式查验,合乎SECS/GEM规范,可依据您的规定订制。


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