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  • 产品名称:AW™ 系列超声波扫描显微镜

  • 产品型号:Series
  • 产品厂商:sonoscan
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简单介绍:
AW™ 系列超声波扫描显微镜是专门为粘合晶圆及硅片设计的全自动 C-SAM®系统,容量大,产能高,灵敏度高。通常用来检 测SOI,MEMS等晶圆。
详情介绍:

       AW™ 系列超声波扫描显微镜是专门为粘合晶圆及硅片设计的全自动 C-SAM®系统,容量大,产能高,灵敏度高。通常用来检 测SOI,MEMS等晶圆。由于这些材料对超声波几乎是透明 的,Sonoscan利用自己专门研制的高频探头进行分析, 以获取*精细的图像。AW系列能够探测直径小于5微米 的空洞和薄如200埃的分层。

     AW™系列是先进的大容量、高吞吐量的自动化晶圆C-Sam®仪器,专门为晶圆和设备级应用的评估提供*大的灵敏度。

AW系列可以提供比竞争系统快两倍的5微米以上的灵敏度,以及非浸入式扫描仪,以消除因去离子水侵入而产生的误报。
AW系列根据用户定义的接受/拒绝标准自动处理、检查和排序晶圆。该系统设计用于处理几乎任何方法制造的晶圆级产品(BSI传感器、SOI、MEMS、LED、片上芯片和未抛光晶圆),包括使用直接熔合、阳极、玻璃熔块和环氧树脂键合的键合工艺。
1.直接键合技术-系统用户发现,在范德华力初始键合后、退火后和稀释后的三个生产阶段进行检查,可以显著提高产量。
2.MEMS设备-在分离之前,可以检查腔密封的质量。
3.未抛光的生晶片-检测在进一步加工过程中导致“针孔”的自然空隙。
4.发光二极管-检查层的结合自动一个模具的基础上,并分类坏和可疑的模具。
AW系列利用了Sonoscan专有的高频声透镜,这种透镜是内部设计的,可以获得*详细的图像。由于在这些应用中使用的材料,如硅、蓝宝石、玻璃、砷化镓等,对超声波来说是非常透明的,因此需要特殊的透镜。可以检测到薄到200埃的晶圆之间的分层。
AW300系列提供全自动检查,符合SECS/GEM标准,可根据您的要求定制。

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